DERS ADI

Dersi Veren Birim

Fen Bilimleri Enstitüsü

Dersin Düzeyi

Yüksek Lisans

Ders Koordinatörü

DOÇ.DR. IŞIL BİRLİK

Dersi Alan Birimler

Nanobilim ve Nanomühendislik Doktora
Nanobilim ve Nanomühendislik Yüksek Lisans
Nanobilim ve Nanomühendislik Bütünleşik Doktora

Dersin Amacı

Bu dersin amacı nanolitografiyi genel hatları ile tanıtmak, temel prensipleri ile açıklamak ve nanolitografi teknikleri ile ilgili örnekler vermektir. Ders ilk olarak geleneksel tekniklerden olan electron-demeti litografi, plazma esaslı desen transferi, optic litografi ve x-ışını litografi teknikleri hakkında bilgi vermektedir. Devamında ise nanoimprint litografi, taramalı litografi, iki-foton litografi, plasma nanolitografi ve belirleyici katkılama gibi yeni metodları açıklamaktadır. Son olarak nanofabrikason işlemlerinin elektronik uygulamalarda nasıl kullanıldığı hakkında bilgi vermektedir.

Dersin Öğrenme Kazanımları

Dersin Öğretim Türü

Örgün Öğretim

Dersin Önkoşulu/Önkoşulları

Yok

Ders İçin Önerilen Diğer Hususlar

Yok

Ders İçeriği

Ders İçin Önerilen Kaynaklar

Nano-lithography, Stefan Landis, Wiley.
Nanofabrication: Techniques and Principles, Stepanova, Maria; Dew, Steven, Springer.

Öğrenme ve Öğretme Yöntemleri

Sunum yolu ile ders anlatımı, öğrencilerin grup çalışmaları ve sunumları, ara sınav ve final sınavı

Değerlendirme Yöntemleri

Değerlendirme Yöntemlerine İliskin Aciklamalar

Yok

Değerlendirme Kriteri

Tüm öğrenme çıktıları ara-sınav, final sınavı ve öğrenci ödevleri ile değerlendirilecektir.

Dersin Öğretim Dili

Türkçe

Derse İlişkin Politika ve Kurallar

İlan Edilecektir.

Dersin Öğretim Üyesi İletişim Bilgileri

Yrd. Doç. Dr. Işıl BİRLİK
Dokuz Eylül Üniversitesi
Mühendislik Fakültesi Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü
Tel: 0232 301 7487
e-Posta: isil.kayatekin@deu.edu.tr

Ders Öğretim Üyesi Görüşme Gün ve Saatleri

Haftalık ders programına göre dönem içerisinde belirtilecektir.

Staj Durumu

YOK

İş Yükü Hesaplaması

Program ve Öğrenme Kazanımları İlişkisi