Dokuz Eylül Üniversitesi Ders Katoloğu / Bilgi Paketi

Ders Bilgileri

Ders Kodu	Ders Adı	Ders Türü	D	U	L	AKTS
NNE 5047	Nanoteknolojide Üretim Teknikleri	SEÇMELİ	3	0	0	8

Dersi Veren Birim

Fen Bilimleri Enstitüsü

Dersin Düzeyi

Yüksek Lisans

Ders Koordinatörü

DOÇ. DR. METİN YURDDAŞKAL

Dersi Alan Birimler

Nanobilim ve Nanomühendislik Yüksek Lisans

Dersin Amacı

Bu dersin amacı, nanoteknoloji kapsamında yapılan temel bilim ve mühendislik çalışmaların en önemli kısmı nano-ölçekte yapılan üretim yöntemleridir. Nano-ölçekte üretim teknolojilerinde tabandan-yukarı (bottom-up) ve üstten-tabana (top-down) doğru iki farklı yaklaşım mevcuttur. Bu dersin amacı, bu iki yaklaşımın sunduğu alternatif üretim yöntemleri tanıtmaktır. Özellikle ürün tabanlı nanoteknoloji çalışmalarının gerçeklenmesine yönelik bilgi ve teknikler anlatılacak ve örnekler ile konu zenginleştirilecektir.

Dersin Öğrenme Kazanımları

1	İnce film büyütme tekniklerinin öğrenilmesi
2	Yüzey modifikasyonu proseslerinin öğrenilmesi
3	Yüzeyde nano ve mikro ölçekte desen oluşturulmasının öğrenilmesi
4	Nano üretim yapmak için proses, malzeme ve teknoloji seçiminin öğrenilmesi
5	Nano sistem yapabilmek için entegre üretim yaklaşımlarının öğrenilmesi

Dersin Öğretim Türü

Örgün Öğretim

Dersin Önkoşulu/Önkoşulları

Yok

Ders İçin Önerilen Diğer Hususlar

Yok

Ders İçeriği

Hafta	Konular	Açıklama
1	Nanosistem ve Nanoaygıtlara giriş	Mikron dan Nano-üretime geçiş
2	Temel İnce Film Büyütme Teknikleri	Sol-jel, FBB ve KBB, Yüzeyler ve arayüzler
3	İleri İnce Film Büyütme Teknikleri	Atomik Tabaka Büyütme, MOCVD, Darbeli Lazer Kaplama
4	Difüzyon prosesleri	İyon-doplama ve oksitleme
5	Optik ve e-demeti litografi, maske teknolojisi
6	Soft-litografi, nano-baskı yöntemi	Farklı litografi yöntemleri
7	Direct yazma litografisi, dip-kalem nano-litografisi
8	Polimer ve seramiklerde üretim süreçleri	Malzeme türüne göre üretim yöntemlerinin değerlendirilmesi
9	Üretim süreçlerinin entegrasyonunun temelleri
10	Nano-lif üretimi ve tasarımı
11	Entegre devre üretiminin nanoteknoloji açısından irdelenmesi-1
12	Entegre devre üretiminin nanoteknoloji açısından irdelenmesi-2
13	Ödev/sunum uygulamaları
14	Ödev/sunum uygulamaları

Ders İçin Önerilen Kaynaklar

1. Cui, Z., Nanofabrication: Principles, Capabilites and Limits, Springer, ISBN: 978-0-387-75576-2, 2008.
2. Andrady, A.L., Science and Technology of Polymer Nanofibers, John Wiley&Sons, Inc, ISBN 978-0-471-79059-4, 2008.
3. Bhusban, B., Springer Handbook of Nanotechnology, Springer, ISBN: 978-3-540-29855-7, 2007.
4. Jackson, M.J., Microfabrication and Nanomanufacturing, CRC Press, ISBN: 0-8247-2431-3, 2006.
5. Gogotsi, Y., Nanotubes and Nanofibers, Taylor & Francis, ISBN 0-8493-9387-6, 2006.
6. Franssila, S., Introduction to Microfabrication, John Wiley & Sons Ltd, ISBN:0-4708-5105-8, 2004.

Öğrenme ve Öğretme Yöntemleri

Bu ders görsel anlatım, tartışma ve sunum uygulamaları ile verilecektir.

Değerlendirme Yöntemleri

SIRA NO	KISA KOD	UZUN ADI	FORMUL
1	ARS 1	ARASINAV 1
2	ARS 2	ARASINAV 2
3	ODV	ÖDEV
4	YSS	YIL SONU SINAVI
5	YSBN	YIL SONU BAŞARI NOTU	ARS 1 * 0.15 +ARS 2 * 0.15 +ODV * 0.20 +YSS * 0.50
6	BUT	BÜTÜNLEME
7	BUTBN	BÜTÜNLEME SONU BAŞARI NOTU	ARS 1 * 0.15 +ARS 2 * 0.15 +ODV * 0.20 +BUT * 0.50

Değerlendirme Yöntemlerine İliskin Aciklamalar

Derslere en az %70 katılım zorunludur.

Değerlendirme Kriteri

Öğrencilerin performans değerlendirmeleri öğrenme çıktıları (ÖÇ1. ÖÇ2, ÖÇ3, ÖÇ4, ÖÇ5) esas alınarak yıl içi ve yılsonu sınavları ve dönem ödevi sunumları ile yapılacaktır.
Ara Sınav 1 (%15) + Ara Sınav 2 (%15) + Ödev/Sunum (%20) + Final (%50)

Dersin Öğretim Dili

Türkçe

Derse İlişkin Politika ve Kurallar