Dokuz Eylül Üniversitesi Ders Katoloğu / Bilgi Paketi

Ders Bilgileri

Ders Kodu	Ders Adı	Ders Türü	D	U	L	AKTS
NNE 5017	Minyatürizasyon	SEÇMELİ	3	0	0	8

Dersi Veren Birim

Fen Bilimleri Enstitüsü

Dersin Düzeyi

Yüksek Lisans

Ders Koordinatörü

Dersi Alan Birimler

Nanobilim ve Nanomühendislik Yüksek Lisans
Nanobilim ve Nanomühendislik Doktora
Nanobilim ve Nanomühendislik Bütünleşik Doktora

Dersin Amacı

Mikrofabrikasyonun temelleri daha küçük ve daha da küçük malzemeler kullanarak aygıtların yapımını aydınlatan minyatürizasyon bilimini açıklamaktadır. Bu ders üretim opsiyonları, malzeme seçimi ve boyutlarının anlaşılmasını sağlamaktadır. Derste anlatılan minyatürizasyon alanı büyükten küçüğe doğru üretilen üst-alt methodları ve küçükten büyüğe doğru üretilen aşağı-yukarı methodları açıklamaktadır.

Dersin Öğrenme Kazanımları

1	Mikrofabrikasyon prensiplerini bilir
2	Minyatürizasyon üretim yöntemlerini ve parametrelerini bilir
3	Hedef ürüne göre doğru minyatürizasyon tekniğini seçebilir
4	Minyatürize edilmiş sistemlerin ölçüm ve karakterizasyon yöntemlerine karar verebilir
5	Yeni ürün geliştirme için malzeme seçimine ve yöntemine karar verebilir

Dersin Öğretim Türü

Örgün Öğretim

Dersin Önkoşulu/Önkoşulları

Yok

Ders İçin Önerilen Diğer Hususlar

Yok

Ders İçeriği

Hafta	Konular	Açıklama
1	Nanofabrikasyon ve nanomakina ile işleme için Lithografide kullanılan farklı teknikler ve en son lithografi aletleri
2	Minyatürizasyon ve IC teknolojisinde patern transferi için kuru-dağlama teknikleri
3	İnce film ve kalın film depozisyonunda katkılı patern transfer teknikleri
4	Yaş hacimsel (bulk) mikromakinaileişleme adlı tek-kristal malzemeleri içeren sensor sistemleri ve sensördeki minyatürizasyon tipi
5	Yüzey mikromakinaileişleme olarak dağlayıcı (yaş ve kuru beraber) ile ince-film katkılı teknikleri
6	Ara sınav
7	Mikfabrikasyonda kullanılan düşük maliyetli methodlar olarak LIGA, derin x-ışını lithografiye dayalı bir alet, elektrodepozisyon ve mikrokalıplama
8	Minyatürizasyon aletleri ve biyoteknoloji
9	Minyatürize sistemlerin içine beyin yükleme
10	Minyatürize sistemlerin ölçeklendirilmesi, harekete geçirilmesi ve güçlendirilmesi
11	Bilim ve mühendislikte mikrofabrikasyonu kullanma seçenekleri ile günümüzdeki ve bekleyen uygulamalar
12	Öğrenci sunumları
13	Öğrenci sunumları
14	Öğrenci sunumları

Ders İçin Önerilen Kaynaklar

KAYNAK KİTAP : Marc J. Madou, Fundamentals of Microfabrication, The Science of Miniaturization , 2nd edition, ISBN 0-8493-0826-7, 2002.

REFERANS KİTAPLAR : Royal Society of Chemistry, Ed. By S. Le Gac and A. van den Berg, Miniaturization and Mass Spectroscopy , ISBN 978-0-85404-129-9, RSC Publishing, 2009.

Öğrenme ve Öğretme Yöntemleri

Ders teorik, sınıf sunumları ve tartışma formatındadır. Dersi alan öğrenciler teorik anlatım, seminer ve tartışma oturumlarına katılmalıdır. Öğrenciler, verilen araştırma konularını hazırlayarak ilgili haftada sunarak diğer öğrencilerle tartışma ortamı oluşturulur.

Değerlendirme Yöntemleri

SIRA NO	KISA KOD	UZUN ADI	FORMUL
1	ARS	ARASINAV
2	ODV	ÖDEV
3	YSS	YIL SONU SINAVI
4	YSBN	YIL SONU BAŞARI NOTU	ARS * 0.25 + ODV 0.25 +YSS 0.50
5	BUT	BÜTÜNLEME
6	BUTBN	BÜTÜNLEME SONU BAŞARI NOTU	ARS * 0.25 + ODV 0.25 +BUT 0.50

*** Bütünleme Sınavı Yapılmayan Birimlerde Bütünleme Kriteri Dikkate Alınmaz.

Değerlendirme Yöntemlerine İliskin Aciklamalar

Yok

Değerlendirme Kriteri

- Ara sınav (25 %)
- Final sınavı (50 %)
- Sunum (25 %)

Dersin Öğretim Dili

Türkçe

Derse İlişkin Politika ve Kurallar

İlan Edilecektir.

Dersin Öğretim Üyesi İletişim Bilgileri

murat.kusoglu@deu.edu.tr

Ders Öğretim Üyesi Görüşme Gün ve Saatleri

Cuma günü 10:00-12:00

Staj Durumu

YOK

İş Yükü Hesaplaması

Etkinlikler	Sayısı	Süresi (saat)	Toplam İş Yükü (saat)
Ders Anlatımı	13	3	39
Sunum Hazırlama	1	20	20
Vize Sınavına Hazırlık	1	20	20
Final Sınavına Hazırlık	1	20	20
Haftalık Ders öncesi/sonrası hazırlıklar	13	7	91
Final Sınavı	1	2	2
Vize Sınavı	1	2	2
TOPLAM İŞ YÜKÜ (saat)			194

Program ve Öğrenme Kazanımları İlişkisi

PK/ÖK	PK.1	PK.2	PK.3	PK.4	PK.5	PK.6	PK.7	PK.8	PK.9	PK.10	PK.11	PK.12	PK.13	PK.14
ÖK.1	2	3	1	1	1	2	2	4	3	3	3	4	4	1
ÖK.2	1	1	1	2	1	3	1	4	3	3	3	4	3	1
ÖK.3	5	5	1	1	5	4	1	4	3	3	3	4	4	1
ÖK.4	4	4	1	1	2	5	5	4	3	3	3	4	3	1
ÖK.5	1	1	5	3	2	1	4	4	3	3	3	4	3	1

DERS ADI

DERECE PROGRAMLARI