DERS ADI

: Nanolitografi

Ders Bilgileri

Ders Kodu Ders Adı Ders Türü D U L AKTS
NNE 5013 Nanolitografi SEÇMELİ 3 0 0 8

Dersi Veren Birim

Fen Bilimleri Enstitüsü

Dersin Düzeyi

Yüksek Lisans

Ders Koordinatörü

DOÇ. DR. IŞIL BİRLİK

Dersi Alan Birimler

Nanobilim ve Nanomühendislik Doktora
Nanobilim ve Nanomühendislik Yüksek Lisans
Nanobilim ve Nanomühendislik Bütünleşik Doktora

Dersin Amacı

Bu dersin amacı nanolitografiyi genel hatları ile tanıtmak, temel prensipleri ile açıklamak ve nanolitografi teknikleri ile ilgili örnekler vermektir. Ders ilk olarak geleneksel tekniklerden olan electron-demeti litografi, plazma esaslı desen transferi, optic litografi ve x-ışını litografi teknikleri hakkında bilgi vermektedir. Devamında ise nanoimprint litografi, taramalı litografi, iki-foton litografi, plasma nanolitografi ve belirleyici katkılama gibi yeni metodları açıklamaktadır. Son olarak nanofabrikason işlemlerinin elektronik uygulamalarda nasıl kullanıldığı hakkında bilgi vermektedir.

Dersin Öğrenme Kazanımları

1   Litografinin temel prensiplerini açıklamak
2   Geleneksel ve yeni litografi tekniklerini anlamak
3   Litografi tekniklerinin elektronikteki potansiyel uygulamalarını sıralamak
4   Litografi hakkında güncel bilimsel çalışmaları ve uygulamaları araştırmak
5   Litografi uygulamalarını yorumlamak

Dersin Öğretim Türü

Örgün Öğretim

Dersin Önkoşulu/Önkoşulları

Yok

Ders İçin Önerilen Diğer Hususlar

Yok

Ders İçeriği

Hafta Konular Açıklama
1 Nanolitografiye giriş
2 Elektron ışını Litografisi
3 Fokus iyon demeti ile nanolitografi
4 Fokus iyon demeti ve elektron demeti kaplama
5 Nanoboyutta plazma esaslı desen transferi
6 Optik litografi
7 Ara sınav
8 X-Işını Lİtografi
9 Yeni litografi teknikleri
10 EBL İşlem örnekleri
11 Öğrenci projeleri çalışması
12 Öğrenci projeleri çalışması
13 Öğrenci projeleri çalışması
14 Öğrenci projeleri çalışması

Ders İçin Önerilen Kaynaklar

Nano-lithography, Stefan Landis, Wiley.
Nanofabrication: Techniques and Principles, Stepanova, Maria; Dew, Steven, Springer.

Öğrenme ve Öğretme Yöntemleri

Sunum yolu ile ders anlatımı, öğrencilerin grup çalışmaları ve sunumları, ara sınav ve final sınavı

Değerlendirme Yöntemleri

SIRA NO KISA KOD UZUN ADI FORMUL
1 ARS ARASINAV
2 ODV ÖDEV
3 YSS YIL SONU SINAVI
4 YSBN YIL SONU BAŞARI NOTU ARS * 0.25 + ODV *0.25 +YSS *0.50
5 BUT BÜTÜNLEME
6 BUTBN BÜTÜNLEME SONU BAŞARI NOTU ARS * 0.25 + ODV *0.25 +BUT *0.50


Değerlendirme Yöntemlerine İliskin Aciklamalar

Yok

Değerlendirme Kriteri

Tüm öğrenme çıktıları ara-sınav, final sınavı ve öğrenci ödevleri ile değerlendirilecektir.

Dersin Öğretim Dili

Türkçe

Derse İlişkin Politika ve Kurallar

İlan Edilecektir.

Dersin Öğretim Üyesi İletişim Bilgileri

Yrd. Doç. Dr. Işıl BİRLİK
Dokuz Eylül Üniversitesi
Mühendislik Fakültesi Metalurji ve Malzeme Mühendisliği Bölümü
Tel: 0232 301 7487
e-Posta: isil.kayatekin@deu.edu.tr

Ders Öğretim Üyesi Görüşme Gün ve Saatleri

Haftalık ders programına göre dönem içerisinde belirtilecektir.

Staj Durumu

YOK

İş Yükü Hesaplaması

Etkinlikler Sayısı Süresi (saat) Toplam İş Yükü (saat)
Ders Anlatımı 13 3 39
Vize Sınavına Hazırlık 1 20 20
Final Sınavına Hazırlık 1 30 30
Haftalık Ders öncesi/sonrası hazırlıklar 13 2 26
Sunum Hazırlama 1 30 30
Ödev Hazırlama 1 40 40
Final Sınavı 1 2 2
Vize Sınavı 1 2 2
TOPLAM İŞ YÜKÜ (saat) 189

Program ve Öğrenme Kazanımları İlişkisi

PK/ÖKPK.1PK.2PK.3PK.4PK.5PK.6PK.7
ÖK.11125241
ÖK.22154552
ÖK.33313433
ÖK.44451324
ÖK.55541111